SNU PRECISION
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Core Technology

SNU Precision的先进技术正在开启未来。

产品介绍

CDHT

CDHT

Introduction 为了LCD 工艺中曝光量,涂料量,蚀刻量等的工艺条件达到最优化,halftone和CD同时进行测量
Features 1次性可以同时测量 CD/厚度/高度
纳米级分辨率,高速测量
测量 Item : Halftone 厚度, Overlay, Hole, PR, Metal, ITO Slit 线宽度测量等
Application TFT Photo工艺, TFT PECVD 工艺, Flexible TFT 基板 PI 厚度测量